流量规格1(N2标定)

0～5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM

0～1,2,3,5,10,20,30 SLM

调节阀类型

常闭式

无

量程比

(2～100)％F.S. 或50:1

流量分辨率

0.1％F.S.

准确度

±1％F.S. (≤15SLM)

±2％F.S. (＞15SLM)

线性

±0.5％F.S. (≤15SLM)

±2％F.S. (＞15SLM)

重复精度

±0.2％F.S.

响应时间

≤1sec

≤1sec

工作压差范围

0.1～0.5MPa (≤10SLM)

0.02MPa～3MPa

0.1～0.3MPa (＞10SLM)

最大耐压

3MPa

工作环境温度

5～45℃

电缆接头

DB15pin(针形)

输入输出信号

4～20mA或0～+5.00V (输入阻抗大于100kΩ，输出电流不大于3mA)

4～20mA或0～+5.00V (无输入信号，输出电流不大于3mA)

供电电源要求

+24VDC(≥300mA)

+24VDC(≥150mA)

对外单点泄漏率

≤1×10^-9Pa·m³/S(He)

介质接触材质

316，316L，密封填料

密封材料

丁腈橡胶NBR，三元乙丙橡胶EPDM，氯丁橡胶CR，硅橡胶VMQ,
氟橡胶FKM，全氟橡胶FFKM，聚四氟乙烯PTFE

管道接头尺寸

VCR型接头：1/4” 

双卡套型接头：1/8”、1/4”、3/8”或φ3、φ6、φ8、φ10 mm

外形尺寸

长×宽×高：127×30×122 mm

净重量

0.9kg

0.75kg